來(lái)源:沈陽(yáng)科儀|2014-04-02|【大 中 小】【打印】【關(guān)閉】
3月21日,國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)“耐腐蝕超潔凈系列渦旋干式真空泵開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目啟動(dòng)暨2014年度工作布置會(huì)在中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司召開(kāi)。遼寧省科技廳條財(cái)處、遼寧省國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目監(jiān)理及財(cái)務(wù)監(jiān)理專家、項(xiàng)目各任務(wù)負(fù)責(zé)人及財(cái)務(wù)人員出席會(huì)議。會(huì)議由項(xiàng)目牽頭單位沈陽(yáng)科儀副總經(jīng)理張振厚主持。
沈陽(yáng)科儀作為該項(xiàng)目的牽頭單位,聯(lián)合東北大學(xué)、中科院金屬研究所、中科院上海應(yīng)用物理研究所、北京普析通用儀器有限責(zé)任公司、蘭州空間技術(shù)物理研究所、北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司等共同承擔(dān)。項(xiàng)目通過(guò)開(kāi)展對(duì)系列渦旋干泵總體設(shè)計(jì)、系列渦旋干泵流場(chǎng)分析及型線優(yōu)化、渦旋干泵材質(zhì)與動(dòng)密封、渦旋干泵防腐、渦旋干泵內(nèi)部熱場(chǎng)分析及對(duì)材料膨脹影響分析與優(yōu)化及渦旋干泵特種電機(jī)等7項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā),研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、符合國(guó)家重大科學(xué)儀器應(yīng)用要求、性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平的耐腐蝕超潔凈系列渦旋干泵產(chǎn)品。項(xiàng)目實(shí)施周期為3年,沈陽(yáng)科儀真空干泵事業(yè)部部長(zhǎng)王光玉擔(dān)任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人,東北大學(xué)巴德純教授擔(dān)任項(xiàng)目技術(shù)負(fù)責(zé)人。本項(xiàng)目的實(shí)施可為我國(guó)高端科學(xué)儀器如質(zhì)譜類、光譜類、電鏡類儀器提高質(zhì)量水平,提供潔凈真空環(huán)境,超高真空提供基礎(chǔ)保證。
項(xiàng)目專項(xiàng)啟動(dòng)會(huì)參會(huì)人員合影
撰稿人:張慶鍵