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　　實(shí)現(xiàn)“碳達(dá)峰”“碳中和”是我國(guó)的重大戰(zhàn)略決策，綠色環(huán)保、低碳經(jīng)濟(jì)是未來的發(fā)展方向。近年來與新能源、新基建等領(lǐng)域相關(guān)的光伏、半導(dǎo)體、材料等行業(yè)快速發(fā)展，給真空行業(yè)特別是PVD設(shè)備行業(yè)帶來了機(jī)遇。APC自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)閥作為在高端PVD薄膜沉積制程中工藝壓力控制的關(guān)鍵核心部件之一，長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，在國(guó)際環(huán)境變化等外部因素影響下，受到越來越嚴(yán)重的進(jìn)口制裁，極大阻礙了行業(yè)發(fā)展，實(shí)現(xiàn)核心產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化替代迫在眉睫。

　　2021年，成都中科唯實(shí)儀器有限責(zé)任公司成立了APC高精度自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)閥技術(shù)攻關(guān)團(tuán)隊(duì)，全力以赴解決APC自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)閥“卡脖子”的問題。

圖為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人和技術(shù)工程師針對(duì)APC閥門裝配、調(diào)試技術(shù)問題進(jìn)行研討

　　通過調(diào)研，團(tuán)隊(duì)明確了產(chǎn)品的設(shè)計(jì)目標(biāo)和詳細(xì)的技術(shù)指標(biāo)，找到產(chǎn)品的核心關(guān)鍵控制點(diǎn)，制定具有自主創(chuàng)新的全新產(chǎn)品設(shè)計(jì)路線及方案。在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料選擇及工藝技術(shù)方面，團(tuán)隊(duì)始終堅(jiān)持高標(biāo)準(zhǔn)、嚴(yán)要求、精益求精的原則，以達(dá)到甚至超越國(guó)外一流產(chǎn)品為目標(biāo)。在客戶要求自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)閥具有抗惡劣工作環(huán)境的需求方面，技術(shù)團(tuán)隊(duì)對(duì)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)進(jìn)行了加強(qiáng)設(shè)計(jì)，并采用了最先進(jìn)的制造技術(shù)來保證；在客戶要求調(diào)節(jié)閥的精度高、響應(yīng)速度快時(shí)，技術(shù)團(tuán)隊(duì)原創(chuàng)性地研發(fā)了以自學(xué)習(xí)模式為基礎(chǔ)，外加動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)的先進(jìn)自適應(yīng)壓力調(diào)節(jié)軟件算法，從而滿足了需求。

　　在近2年的研發(fā)時(shí)間里，團(tuán)隊(duì)成員眾志成城，排除萬(wàn)難，經(jīng)過數(shù)千次試驗(yàn)，不斷優(yōu)化改進(jìn)，最終在高端PVD設(shè)備上試用成功，關(guān)鍵核心指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化替代，為行業(yè)發(fā)展做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)。