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　　5月19日，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所孵化企業(yè)——深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司在上海證券交易所科創(chuàng)板正式掛牌上市。 

　　中科飛測(cè)成立于2014年，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備公司，依托多年在光學(xué)檢測(cè)技術(shù)、大數(shù)據(jù)檢測(cè)算法和自動(dòng)化控制軟件等領(lǐng)域的深耕積累和自主創(chuàng)新，專(zhuān)注于檢測(cè)和量測(cè)兩大類(lèi)集成電路專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，產(chǎn)品主要包括無(wú)圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備系列、圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備系列、三維形貌量測(cè)設(shè)備系列、薄膜膜厚量測(cè)設(shè)備系列等產(chǎn)品，已應(yīng)用于國(guó)內(nèi)28nm及以上制程的集成電路制造產(chǎn)線，打破在半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備領(lǐng)域國(guó)際設(shè)備廠商對(duì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的長(zhǎng)期壟斷局面。